Caliball™ – Appareil d’Étalonnage d’Interféromètre
• Calibre les sphères de transmission • Finition RMS 1,3 nm
• Inclut une monture cinématique et un certificat de conformité
CaliBall™ est utilisé pour étalonner les sphères de transmission d’un interféromètre en utilisant le Random Ball
Test (RBT). Cette technique était utilisée avec succès dans le passé mais les matériaux des billes limitaient la
précision de mesure. CaliBall™ a surmonté ce problème grâce à sa conception en nitrate de silicium. Les billes de
25 mm sont de Grade 5 (avec une sphéricité meilleure que 125 nm), finition de surface d’environ 1,3 nm RMS,
sont opaques et réfléchissent à 11%. Pratiquement indestructible, CaliBall™ est une solution pratique et peut être
utilisé répétitivement dans un environnement d’étalonnage pour de nombreuses années sans dégradation.
CaliBall™ est fournit avec une monture cinématique à 3 billes dans une base en acier coupée sur l’un des côtés
pour que les sphères de transmission f/0,7 puissent être calibrées. Le CaliBall™ avec montage à baïonnette de 4’’
est bien adapté aux configurations d’interféromètres horizontaux et ne nécessite pas de configuration de montage
x-y-z supplémentaire. Chaque CaliBall™ inclut également un certificat indiquant la sphéricité et les instructions
complètes pour son utilisation ainsi qu’une boîte de rangement compatible avec les salles blanches.
Objectifs d’Interférométrie Nikon
• Conçus pour un profil optique sans contact
• Objectifs Michelson et Mirau disponibles
• Conception à lentille tube de 200 mm - correction à l’infini
Les objectifs d’interférométrie sont utilisés en mesures optiques sans contact pour obtenir des paramètres de
mesure de surface. Ils peuvent être utilisés pour examiner la topographie de surface avec une très haute précision
– à une fraction de la longueur d’onde. Dans ces objectifs, un faisceau lumineux passe à travers un séparateur,
se dirige sur la surface de l’échantillon et sur un miroir de référence interne. La lumière réfléchie de ses surfaces
se reforme, et une frange d’interférence est alors formée. Les objectifs Michelson offrent des distances de travail
comparatives, champs de vision et profondeur de mise au point plus larges, alors que les objectifs Mirau sont
utilisés en applications nécessitant un grossissement et/ou ouvertures numériques plus élevés. L’utilisation de la
lentille tube Nikon de 200 mm (#58-520) permet à ces objectifs d’être intégrés avec une caméra de monture C.
Objectifs d’Interférométrie Nikon
Michelson CF IC Epi Plan
TI 2,5X
Michelson CF IC
Epi Plan TI 5,0X
Mirau CF IC Epi Plan
DI 10X
Mirau CF IC Epi Plan
DI 20X
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Métrologie
optique
Production optique Spectroscopie Détection Kits de labo
• Substrat N-BK7 de précision
• Optimisé pour une utilisation sous une lumière collimatée avec des champs de vision réduits
• Transmission du front d’onde précise à λ/16
De nombreux systèmes optiques rencontrent des niveaux d’aberrations sphériques qui entraînent une perte
de la qualité d’image et de la performance générale du système. Notre gamme de Plaques de Compensations
d’Aberration Sphérique TECHSPEC® sont conçues de manière à compenser et à corriger les quantités
d’aberration sphérique connues. Les plaques d’aberration sont à utiliser en espace collimaté et doivent être placées
près de la pupille. Elles corrigent de façon excellente les aberrations sphériques des systèmes possédant
de petits champs de vision. Les plaques de compensation à aberration sphérique peuvent être combinées pour
obtenir la quantité d’aberration sphérique compensatoire désirée. Les plaques de signe négatif créent une aberration
sphérique surcorrigée. Les plaques positives créent une aberration sphérique sous corrigée. Remarque : La
flèche sur les plaques de compensation à aberration sphérique indique la direction de propagation de la lumière.
Mirau CF IC Epi Plan
DI 50X
Mirau CF IC Epi Plan
I-DI 100X
Type : Michelson Michelson Mirau Mirau Mirau Mirau
Ouverture numérique : 0,075 0,13 0,30 0,40 0,55 0,70
Distance de travail (mm) : 10,3 9,3 7,4 4,7 3,4 2,0
Distance focale (mm) : 80,0 40,0 20,0 10,0 4,0 2,0
Puissance de résolution (μm) : 3,7 2,1 0,92 0,69 0,50 0,40
Profondeur de foyer ( μm) : 48,6 16,2 3,04 1,71 0,90 0,56
Champ de vision (mm) :
Oculaire, champ de 25 dia. : - 5,0 2,5 1,25 0,50 0,25
Oculaire, champ de 20 dia. : 8,0 4,0 2,0 1,0 0,40 0,20
Capteur ⅔" (H x V) : 3,52 x 2,64 1,76 x 1,32 0,88 x 0,66 0,44 x 0,33 0,18 x 0,13 0,011 x 0,08
Capteur ½" (H x V) : 2,56 x 1,92 1,28 x 0,96 0,64 x 0,48 0,32 x 0,24 0,13 x 0,10 0,08 x 0,06
Poids (g) : 440 280 125 130 200 200
N°stock #59-310 #59-311 #59-312 #59-313 #59-314 #62-788
Prix €7.236,00 €3.771,00 €2.295,00 €2.547,00 €4.338,00 €10.305,00
Lentille Tube Nikon 200 mm #58-520 €279,00
Lentille Tube Nikon à monture C #11-150 €184,00
Plaques de Compensation d’Aberration Sphérique
TECHSPEC® Plaques de Compensation d’Aberration Sphérique
Aberration
12,5 mm de diamètre 25 mm de diamètre
N°stock Prix N°stock Prix
+0,25λ #66-749 €388,89 #66-755 €506,63
-0,25λ #66-750 €388,89 #66-756 €506,63
+0,50λ #66-751 €388,89 #66-757 €506,63
-0,50λ #66-752 €388,89 #66-758 €506,63
+1,00λ #66-753 €388,89 #66-759 €506,63
-1,00λ #66-754 €388,89 #66-760 €506,63
Substrat : N-BK7
Tolérance dimension (mm) : +0,00/-0,25
Épaisseur (mm) :
12,5 mm de dia. : 3,00 ±0,20
25 mm de dia. : 4,00 ±0,20
Tolérance front d’onde transmis: ±l/16 @ 587 nm
Qualité de surface: 60-40
Parallélisme (arcmin) : < 1
Ouverture utile : < 85
CaliBall™ – Appareil d’Étalonnage d’Interféromètre
Description Stock No. Price
Appareil de calibrage d’interféromètre CaliBall #59-495 €868,50
N Appareil de calibrage d’interféromètre CaliBall avec Monture à baïonnette Zygo 4" #19-418 €1.302,75
Diamètre balle : 25 mm
Substrat : Nitrate de silicium
Finition surface : ~1,3 nm rms
Réflectivité (VIS) : 4%
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