Miroirs de Précision pour l’UV
• Longueurs d’ondes de conception de 120 et 190 nm
• Réfl ectivité moy. >85% sur la gamme spécifi ée
• Traitements métalliques améliorés pour une
réfl ectivité sur une large bande du spectre visible
Les Miroirs de Précision UV TECHSPEC® sont idéaux
pour la plupart des sources de lumière disponibles
sur le marché et sont off erts en options de traitement
UV profond (DUV), UV profond amélioré (Enh. DUV)
et UV sous vide (VUV). Le traitement DUV off re une
excellente réfl exion de 190 nm jusqu’à l’IR à ondes
longues (LWIR), tandis que le traitement VUV a une
réfl exion optimisée de 120 nm jusqu’au LWIR.
Precision Ultraviolet Mirrors
Enh. DUV Coated
95
VUV Coated
90
85
DUV Coated
80
75
70
65
120 220 320 420 520 1020
Substrat : Silice fondue
Qualité de surface : 20-10
Planéité surface : λ/10
Parallélisme (arcmin) : <3
Ouverture utile (%) : 90
Tolérance diamètre (mm) : +0,0/-0,2
Tolérance épaisseur (mm) : ±0,2
Angle d’incidence : 0°
• Miroirs plats et focalisants disponibles
• Traitement multicouche sur des substrats superpolis pour une haute réfl ectance à 13,5 nm
• La bande passante étroite soutient les applications de génération d’harmoniques d’ordre élevé
Les Miroirs Ultraviolets Extrêmes (UVE) présentent un traitement multicouche Mo/Si permettant d’atteindre
une réfl exion supérieure à 60% à la longueur d’onde de conception de 13,5 nm. Les substrats superpolis, avec
une rugosité de surface inférieure à 3Å RMS, minimisent la dispersion. Les miroirs plats sont disponibles avec
des options d’angle d’incidence (AOI) de 45° pour diriger les faisceaux polarisés S, ou de 5° AOI pour réfl échir
les sources non polarisées. Ils disposent d’une bande passante de 0,5 nm, ce qui en fait d’excellents sélecteurs
d’harmoniques pour la génération d’harmoniques d’ordre élevé (HHG). Remarque : Des données de test
provenant d’un échantillon de la production de chaque miroir sont incluses.
• Conçus pour séparer deux faisceaux à proximité l’un de l’autre • Biseau 45°
• Ouverture du traitement jusqu’à leur « fi l du rasoir »
• Options de traitement d’aluminium amélioré, d’or protégé et d’argent protégé
Les Miroirs de Prélèvement Rasants sont conçus pour refl éter sélectivement un seul faisceau à partir d’un groupe de
faisceaux étroitement espacés, tout en réduisant l’encombrement global de l’application. Ces miroirs présentent un
biseau tranchant de 45° possédant un traitement réfl échissant qui s’étend au bord biseauté sur un substrat de précision
en silice fondue avec une planéité de λ/10 sur le biseau. Les Miroirs de Prélèvement Rasants sont parfaits pour
les applications qui intègrent des prismes de dispersion et des réseaux de diff raction. Ces miroirs sont disponibles
en trois options de traitement métallique ayant une performance du spectre visible à l’infrarouge lointain.
Réfl ectivité: Traitement VUV : Ravg >78% @ 120 - 125 nm
Ravg >85% @ 120 - 600 nm
Traitement DUV : Ravg >88% @ 190 - 195 nm
Ravg >85% @ 200 - 600 nm
Traitement DUV amélioré : Ravg ≥92% @ 190 - 250 nm
Ravg ≥83% @ 250 - 900 nm
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Miroirs plans
de précision
Miroirs plans
spéciaux
Miroirs laser
à large bande
Miroirs raie laser
Miroirs
ultrarapides
Substrats de miroirs
focalisation hors axe
Miroirs en verre
Miroirs de
flotté
Miroirs de
focalisation
TECHSPEC® Miroirs de Précision pour l’UV
Diamètre
Épaisseur
Long. d’onde
(mm)
(mm)
de conception
(nm)
Prix – traitée VUV Long. d’onde de
conception
(nm)
Prix – traitée DUV Long. d’onde
de conception
(nm)
Prix – traitée DUV amélioré
N°stock 1-5 6-25 26+ N°stock 1-5 6-25 26+ N°stock 1-5 6-25 26+
5,0 2,0 120 #18-725 €210,37 €165,01
Appelez pour Qté & Prix OEM
190 N/A – –
Appelez pour Qté & Prix OEM
190 #18-739 €231,60 €181,42
Appelez pour Qté & Prix OEM
10,0 2,0 120 #18-726 €220,98 €173,22 190 N/A – – 190 #18-740 €242,22 €189,62
12,5 6,0 120 #33-912 €226,78 €190,59 190 #48-567 €220,98 €183,83 190 #18-741 €242,22 €189,62
15,0 3,0 120 #18-727 €231,60 €191,07 190 N/A – – 190 #18-742 €242,22 €189,62
20,0 3,0 120 #18-728 €242,22 €189,62 190 N/A – – 190 #18-743 €263,44 €206,03
25,0 6,0 120 #33-913 €246,07 €215,19 190 #48-568 €242,22 €201,20 190 #18-744 €263,44 €206,03
30,0 5,0 120 #18-729 €250,90 €219,54 190 N/A – – 190 #18-745 €274,06 €214,23
35,0 5,0 120 #18-730 €252,83 €220,98 190 N/A – – 190 #18-746 €284,68 €222,91
40,0 5,0 120 #18-731 €263,44 €230,63 190 N/A – – 190 #18-747 €300,12 €234,98
50,0 10,0 120 #33-914 €318,45 €278,64 190 #48-569 €289,50 €240,77 190 #18-748 €337,75 €295,53
Miroirs de Prélèvement Rasants
S PECI A L
HANDLING
Rugosité surface (RMS Å) : < 3
Planéité surface : λ/10
DWL (nm) : 13,5
Tolérance diamètre (mm) :
Plan : ±0,25
Sphérique : +0,0/-0,13
Tolérance épaisseur (mm) :
Plan : ±0,508
Sphérique : ±0,25
Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE)
Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE)
Type Diamètre (mm) Épaisseur (mm) Substrat EFL (mm) Réfl ectivité (%) AOI (°) N°stock Prix
Plan 25,4 6,35 Silicium monocristallin N/A 60 5 #38-759 €2.316,00
Plan 25,4 6,35 Silicium monocristallin N/A 65 45 #38-760 €2.316,00
Sphérique 25,4 6,35 Silice fondue 250 60 5 #11-730 €3.580,15
Substrat : Silice fondue
Surface arrière : Finement meulée
Tolérance diamètre (mm) : +0,0/-0,2
Tolérance épaisseur (mm) : ±0,2
Qualité de surface : 20-10
Planéité de surface : λ/10
Parallélisme (arcmin) : 2
Traitement : Voir page 88 pour spécifi cations
TECHSPEC® Miroirs de Prélèvement Rasants
Diamètre (mm) Épaisseur (mm)
Aluminium amélioré Or protégé Argent protégé
N°stock Prix N°stock Prix N°stock Prix
25,4 6,35 #36-135 €69,00 #36-136 €88,78 #36-137 €78,65
R (%)
620 720 820 920 (nm)
95
Remarque : Le revêtement souple peut être facilement endommagé par
les empreintes digitales et les aérosols.
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NN
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