CaliBall™ – Interferometer-Kalibriergerät
• Kalibrierung von Transmissions-Sphären • 1,3 nm RMS Oberflächenbeschaffenheit
• Kinematische Halterung und Zertifikat inklusive
Das CaliBall™ wird für die Kalibrierung von Transmissions-Sphären durch den “Random Ball Test” (RBT) verwendet.
Der “Random Ball Test” wurde schon früher mit Erfolg angewandt, aber die Materialen der Kugeln haben
damals die Genauigkeit der Messungen begrenzt. Da das CaliBall™ aus Siliziumnitrid hergestellt ist, ist das
Präzisionsproblem behoben. Die 25 mm Kugeln entsprechen Grad 5 (rund besser als 125 nm), haben ein Oberflächenbeschaffenheit
von 1,3 nm RMS, sind opak und reflektieren 11%. Das Caliball™ ist nahezu unzerstörbar
und stellt eine praktische, wiederverwendbare Kalibrierlösung dar. Das CaliBall™ wird mit einer kinematischen
Dreikugelhalterung, die in eine Edelstahlbasis gegossen ist, ausgeliefert. Eine Seite der Basis ist weggeschnitten,
damit f/0,7 Transmissions-Sphären kalibriert werden können. Das CaliBall™ mit Zygo 4” Bajonett-Mount
ist gut für horizontale Interferometer-Aufbauten geeignet und benötigt keine zusätzliche X-Y-Z-Halterung. Ein
Zertifikat für Rundheit und Oberflächenbeschaffenheit ist inklusive bei jedem CalliBall™. Außerdem wird eine
komplette Betriebsanleitung und eine reinraumkompatible Aufbewahrungsbox mitgeliefert.
Nikon Interferometerobjektive
• Ideal für kontaktlose, optische Profilmessungen • Unendlich korrigiert mit 200 mm Tubuslänge
• Michelson- und Mirauobjektive verfügbar
Nikon Interferometerobjektive werden für die berührungslose optische Oberflächenvermessung, also zur
Bestimmung der Oberflächenstruktur und -eigenschaften, verwendet. Sie können eingesetzt werden, um die
Oberflächentopografie mit hoher Genauigkeit zu untersuchen – bis zum Bruchteil einer Lichtwellenlänge. In
den Objektiven wird das Licht über einen eingebauten Strahlteiler geleitet, der den Strahl sowohl auf die Probe
als auch auf einen eingebauten Referenzspiegel lenkt. Das reflektierte Licht der beiden Oberflächen zeigt (wieder
zusammengeführt) ein Muster aus Interferenzringen. Die Michelsonobjektive verfügen über einen etwas
größeren Arbeitsabstand, ein größeres Bildfeld und mehr Schärfentiefe, während die Mirauobjektive für Anwendungen
eingesetzt werden können, die eine höhere Vergrößerung und / oder NA benötigen. Mit der Nikon
200 mm Tubuslinse (#58-520) können die Objektive an eine C-Mount-Kamera angebracht werden.
Nikon Interferometerobjektive
Michelson CF IC Epi Plan
TI 2,5X
Michelson CF IC
Epi Plan TI 5,0X
Mirau CF IC Epi Plan
DI 10X
Mirau CF IC Epi Plan
DI 20X
www.edmundoptics.de – aktuelle Preise – Verfügbarkeit – neue Produkte – über 34.000 Artikel 435
Optische
Metrologie
Optikproduktion Spektroskopie Detektoren Laborkits
• Präzises N-BK7-Substrat
• Optimiert für den Einsatz bei kollimiertem Strahl und kleinem Bildfeld
• Genauigkeit der transmittierten Wellenfront λ/16
Bei vielen optischen Systemen tritt sphärische Aberration auf und verringert die Abbildungsqualität. Unsere
TECHSPEC® Korrekturplatten für sphärische Aberration wurden entwickelt, um bekannte Anteile sphärischer
Aberrationen zu kompensieren. Die Korrekturplatten sollten in einem kollimierten Strahl eingesetzt und
nahe einer Pupille platziert werden. Sie funktionieren besonders gut in Systemen mit kleinen Bildfeldern.
Die Platten können auch kombiniert werden, um den gewünschten Aberrationswert zu erreichen. Platten
mit negativem Vorzeichen erzeugen eine Überkorrektur der sphärischen Aberration. Platten mit positivem
Vorzeichen erzeugen eine Unterkorrektur der sphärischen Aberration. Bitte beachten Sie: Der Pfeil auf
den Korrekturplatten für sphärische Aberration zeigt die Richtung des Lichtlaufs an.
Mirau CF IC Epi Plan
DI 50X
Mirau CF IC Epi Plan
I-DI 100X
Typ: Michelson Michelson Mirau Mirau Mirau Mirau
Numerische Apertur: 0,075 0,13 0,30 0,40 0,55 0,70
Arbeitsabstand (mm): 10,3 9,3 7,4 4,7 3,4 2,0
Brennweite (mm): 80,0 40,0 20,0 10,0 4,0 2,0
Auflösung (μm): 3,7 2,1 0,92 0,69 0,50 0,40
Schärfentiefe (μm): 48,6 16,2 3,04 1,71 0,90 0,56
Bildfeld (mm):
Okular, Bildfeld 25 mm Durchm.: - 5,0 2,5 1,25 0,50 0,25
Okular, Bildfeld 20 mm Durchm.: 8,0 4,0 2,0 1,0 0,40 0,20
⅔" Sensor (h x v): 3,52 x 2,64 1,76 x 1,32 0,88 x 0,66 0,44 x 0,33 0,18 x 0,13 0,011 x 0,08
½" Sensor (h x v): 2,56 x 1,92 1,28 x 0,96 0,64 x 0,48 0,32 x 0,24 0,13 x 0,10 0,08 x 0,06
Gewicht (g): 440 280 125 130 200 200
Produktnr. #59-310 #59-311 #59-312 #59-313 #59-314 #62-788
Preis €7.236,00 €3.771,00 €2.295,00 €2.547,00 €4.338,00 €10.305,00
Nikon Tubuslinse 200 mm #58-520 €279,00
Halterung Nikon Tubuslinse mit C-Mount #11-150 €184,00
Korrekturplatten für sphärische Aberration
TECHSPEC® Korrekturplatten für sphärische Aberration
Aberration
12,5 mm Durchmesser 25 mm Durchmesser
Produktnr. Preis Produktnr. Preis
+0,25λ #66-749 €388,89 #66-755 €506,63
-0,25λ #66-750 €388,89 #66-756 €506,63
+0,50λ #66-751 €388,89 #66-757 €506,63
-0,50λ #66-752 €388,89 #66-758 €506,63
+1,00λ #66-753 €388,89 #66-759 €506,63
-1,00λ #66-754 €388,89 #66-760 €506,63
Substrat: N-BK7
Toleranz Größe (mm): +0,00/-0,25
Dicke (mm):
12,5 mm Durchm.: 3,00 ±0,20
25 mm Durchm.: 4,00 ±0,20
Verzerrung transmittierte Wellenfront: ±l/16 @ 587 nm
Oberflächenqualität: 60-40
Parallelität (arcmin): <1
Freie Apertur: <85
CaliBall™ – Interferometer-Kalibriergerät
Beschreibung Produktnr. Preis
CaliBall Interferometer-Kalibriergerät #59-495 €868,50
N CaliBall II Interferometer-Kalibriergerät mit Zygo 4” Bajonett-Mount #19-418 €1.302,75
Kugeldurchmesser: 25 mm
Substrat: Siliziumnitrid
Oberflächenbeschaffenheit: ~1,3 nm rms
Reflexion (VIS): 4%
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