Reflectance
Extended Reflectance
• Flache und fokussierende Spiegel verfügbar
• Mehrlagige Beschichtung auf superpolierten Substraten für hohe Refl exion bei 13,5 nm
• Schmales Refl exionsband ideal für HHG-Anwendungen
Spiegel für extrem ultraviolettes Licht (EUV) verfügen über eine mehrlagige Mo/SiBeschichtung,
die bei 13,5
nm eine Refl exion von mehr als 60% bietet. Die superpolierten Substrate mit einer Oberfl ächenrauheit von
weniger als 3 Å RMS minimieren die Streuung. Die fl achen Spiegel sind mit Einfallswinkeln von 45° für die
Lenkung von spolarisierten
Strahlen oder von 5° für die Refl exion von unpolarisierten Quellen verfügbar. Sie
bieten einen Refl exionsbereich von 0,5 nm und sind somit ideale harmonische Selektoren für HHGAnwendungen
(Higher Harmonic Generation). Spiegel für extrem ultraviolettes Licht (EUV) werden häufi g für die
Bildverarbeitung mittels kohärenter Beugung (CDI) und die Werkstoff forschung eingesetzt.
Bitte beachten Sie: Testdaten einer Probe aus dem Produktionslauf sind inklusive.
• Konzipiert zur Trennung zweier dicht nebeneinander propagierender Strahlen
• Beschichtung der 45° angeschrägten Apertur bis zur scharfen Kante
• Beschichtungsoptionen: Enhanced Aluminium, Protected Gold und Protected Silber
Scharfkantige AblenkungsSpiegel
sollen selektiv einen Einzelstrahl aus einer Gruppe eng nebeneinanderliegender
Strahlen refl ektieren und zugleich die Gesamtgröße der Anwendung minimieren. Die Spiegel besitzen eine
scharfe Fase von 45° mit einer refl ektierenden Beschichtung, die bis zur angefasten Kante eines präzisen Quarzglassubstrats
mit einer Oberfl ächenebenheit von λ/10 reicht. Scharfkantige AblenkungsSpiegel
eignen sich ideal
für Anwendungen mit Zerstreuungsprismen und Beugungsgittern. Diese Spiegel sind mit drei Metallbeschichtungsoptionen
für Wellenlängen vom sichtbaren Spektrum bis zum fernen Infrarotbereich erhältlich.
www.edmundoptics.de – aktuelle Preise – Verfügbarkeit – neue Produkte – über 34.000 Artikel 93
Präzise
Planspiegel
Spezial-Planspiegel
Breitband-
Laserspiegel
Laserlinienspiegel Ultrakurzpulsspiegel Spiegelsubstrate Spiegel aus Floatglas
Off-Axis-
Fokussierspiegel
Fokussierspiegel
Präzise Ultraviolettspiegel
Scharfkantige Ablenkungs-Spiegel
Substrat: Quarzglas
Oberfl ächenqualität: 10-5
Oberfl ächenebenheit: λ/10
Parallelität (arcmin): <3
Freie Apertur (%): 90
Toleranz Durchmesser (mm): +0,0/-0,2
Toleranz Dicke (mm): ±0,2
Refl exion: VUV-beschichtet: Ravg >78% @ 120 - 125 nm
Ravg >85% @ 120 - 600 nm
DUV-beschichtet: Ravg >88% @ 190 - 195 nm
Ravg >85% @ 200 - 600 nm
Rückseite: geschliffen
Einfallswinkel: 0°
95
VUV Coated DUV Coated
90
85
80
75
70
65
120 320 520 720 920 1120 1320 1520 1720 1920
R (%)
(nm)
95
DUV Coated VUV Coated
90
85
80
75
70
65
120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620
R (%)
(nm)
• 120 nm und 190 nm Designwellenlängen
• >85% durchschnittliche Refl ektivität über den spezifi zierten
Wellenlängenbereich
• Veredelte metallische Beschichtungen für breitbandige Refl ektivität
im sichtbaren Bereich
Die TECHSPEC® präzisen Ultraviolettspiegel eignen sich ideal für
die meisten handelsüblichen Lichtquellen und werden sowohl mit
Beschichtungen für das tiefe UVSpektrum
(DUV) als auch mit für UVLicht
im Vakuum (VUV) optimierten Beschichtungen angeboten. Die
DUVBeschichtung
besitzt eine hervorragende Refl exion von 190 nm bis
in den langen Infrarotbereich (LWIR), die VUVBeschichtung
ist für eine
Refl exion zwischen 120 nm und dem LWIRSpektrum
optimiert. Diese
TECHSPEC® präzisen Ultraviolettspiegel sind für einen Einfallwinkel
von 0° ausgelegt und besitzen aufgrund ihrer Aluminiumbeschichtung
eine geringe Polarisationsempfi ndlichkeit. Bitte beachten Sie: Die
empfi ndliche Beschichtung kann durch Fingerabdrücke und Aerosole
schnell beschädigt werden.
TECHSPEC® Präzise Ultraviolettspiegel
Größe
(mm)
Dicke
(mm)
Designwellenlänge
(nm)
Preis – VUV-beschichtet Designwellenlänge
(nm)
Preis – DUV-beschichtet
Produktnr. 1-5 6-25 26+ Produktnr. 1-5 6-25 26+
12,5 6,0 120 #33-912 €220,00 €185,00
a.A.
190 #48-567 €210,00 €178,00
a.A.
25,0 6,0 120 #33-913 €240,00 €210,00 190 #48-568 €230,00 €195,00
50,0 10,0 120 #33-914 €310,00 €279,00 190 #48-569 €275,00 €233,00
S PECI A L
HANDLING
Oberfl ächenrauheit (RMS Å): <3
Oberfl ächenebenheit: λ/10
DWL (nm): 13,5
Toleranz Durchmesser (mm):
Plan: ±0,25
Sphärisch: +0,0/-0,13
Toleranz Dicke (mm):
Plan: ±0,508
Sphärisch: ±0,25
Spiegel für extrem ultraviolettes Licht (EUV)
Spiegel für extrem ultraviolettes Licht (EUV)
Typ Durchmesser (mm) Dicke (mm) Substrat EFL (mm) Refl exion (%) AOI (°) Produktnr. Preis
plan 25,4 6,35 einkristallines Silizium N/A 60 5 #38-759 €2.200,00
plan 25,4 6,35 einkristallines Silizium N/A 65 45 #38-760 €2.200,00
sphärisch 25,4 6,35 Quarzglas 250 60 5 #11-730 €3.400,00
Substrat: Quarzglas
Rückseite: feingeschliffen
Toleranz Durchmesser (mm): +0,0/-0,2
Toleranz Dicke (mm): ±0,2
Oberfl ächenqualität: 20-10
Oberfl ächenebenheit: λ/10
Parallelität (arcmin): 2
Beschichtung: siehe Seite 88
TECHSPEC® Scharfkantige Ablenkungs-Spiegel
Durchmesser (mm) Dicke (mm)
Enhanced Aluminium Protected Gold Protected Silber
Produktnr. Preis Produktnr. Preis Produktnr. Preis
25,4 6,35 #36-135 €70,00 #36-136 €90,00 #36-137 €80,00
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