Reflectance
Extended Reflectance
• Miroirs plats et focalisants disponibles
• Traitement multicouche sur des substrats superpolis pour une haute réfl ectance à 13,5 nm
• La bande passante étroite soutient les applications de génération d’harmoniques d’ordre élevé
Les Miroirs Ultraviolets Extrêmes (UVE) présentent un traitement multicouche Mo/Si permettant d’atteindre
une réfl exion supérieure à 60% à la longueur d’onde de conception de 13,5 nm. Les substrats superpolis,
avec une rugosité de surface inférieure à 3Å RMS, minimisent la dispersion. Les miroirs plats sont disponibles
avec des options d’angle d’incidence (AOI) de 45° pour diriger les faisceaux polarisés S, ou de 5° AOI pour
réfl échir les sources non polarisées. Ils disposent d’une bande passante de 0,5 nm, ce qui en fait d’excellents
sélecteurs d’harmoniques pour la génération d’harmoniques d’ordre élevé (HHG). Les miroirs sphériques pour
l’ultraviolet extrême (EUV) sont couramment utilisés dans les applications d’imagerie par diff raction cohérente
(CDI) et la recherche en science des matériaux. Remarque : Des données de test provenant d’un échantillon
de la production de chaque miroir sont incluses.
• Conçus pour séparer deux faisceaux à proximité l’un de l’autre • Biseau 45°
• Ouverture du traitement jusqu’à leur « fi l du rasoir »
• Options de traitement d’aluminium amélioré, d’or protégé et d’argent protégé
Les Miroirs de Prélèvement Rasants sont conçus pour refl éter sélectivement un seul faisceau à partir d’un groupe
de faisceaux étroitement espacés, tout en réduisant l’encombrement global de l’application. Ces miroirs présentent
un biseau tranchant de 45° possédant un traitement réfl échissant qui s’étend au bord biseauté sur un substrat
de précision en silice fondue avec une planéité de λ/10 sur le biseau. Les Miroirs de Prélèvement Rasants sont
parfaits pour les applications qui intègrent des prismes de dispersion et des réseaux de diff raction. Ces miroirs
sont disponibles en trois options de traitement métallique ayant une performance du spectre visible à l’infrarouge
lointain.
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Miroirs plans
de précision
Miroirs plans
spéciaux
Miroirs laser
à large bande
Miroirs raie laser
Miroirs
ultrarapides
Substrats de miroirs
focalisation hors axe
Miroirs en verre
Miroirs de
flotté
Miroirs de
focalisation
Miroirs de Précision pour l’UV
Miroirs de Prélèvement Rasants
Substrat : Silice fondue
Qualité de surface : 10-5
Planéité de surface : λ/10
Parallélisme (arcmin) : <3
Ouverture utile (%) : 90
Tolérance diamètre (mm) : +0,0/-0,2
Tolérance épaisseur (mm) : ±0,2
Réfl ectivité : Traitement VUV : Ravg >78% @ 120 - 125 nm
Ravg >85% @ 120 - 600 nm
Traitement DUV : Ravg >88% @ 190 - 195 nm
Ravg >85% @ 200 - 600 nm
Surface arrière : Meulé
Angle d’incidence : 0°
95
VUV Coated DUV Coated
90
85
80
75
70
65
120 320 520 720 920 1120 1320 1520 1720 1920
R (%)
(nm)
95
DUV Coated VUV Coated
90
85
80
75
70
65
120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620
R (%)
(nm)
• Longueurs d’ondes de conception de 120 et 190 nm
• Réfl ectivité moy. >85% sur la gamme spécifi ée
• Traitements métalliques améliorés pour une
réfl ectivité sur une large bande du spectre visible
Les Miroirs de Précision pour l’UV TECHSPEC® sont idéaux
pour la plupart des sources de lumière disponibles
sur le marché et sont off erts en options de traitement
UV profond (DUV) et amélioré à vide pour l’UV (VUV).
Le traitement DUV off re une excellente réfl exion de
190 nm jusqu’à l’infrarouge à ondes longues (LWIR), tandis
que le traitement VUV a une réfl exion optimisée de
120 nm jusqu’au LWIR. Ces Miroirs de Précision pour
l’UV TECHSPEC® sont conçus pour un angle d’incidence
de 0° et sont munis d’un traitement à base d’aluminium
pour une faible sensibilité à la polarisation. Remarque :
Le traitement mou peut être facilement endommagé par
des empreintes de doigts et des aérosols.
TECHSPEC® Miroirs de Précision pour l’UV
Diamètre
Épaisseur
Long. d’onde
(mm)
(mm)
de conception
(nm)
Prix – traitée VUV Long. d’onde
de conception
(nm)
Prix – traitée DUV
N°stock 1-5 6-25 26+ N°stock 1-5 6-25 26+
12,5 6,0 120 #33-912 €220,00 €185,00
Appelez
190 #48-567 €210,00 €178,00
Appelez
25,0 6,0 120 #33-913 €240,00 €210,00 190 #48-568 €230,00 €195,00
50,0 10,0 120 #33-914 €310,00 €279,00 190 #48-569 €275,00 €233,00
S PECI A L
HANDLING
Rugosité surface (RMS Å) : < 3
Planéité surface : λ/10
DWL (nm) : 13,5
Tolérance diamètre (mm) :
Plan : ±0,25
Sphérique : +0,0/-0,13
Tolérance épaisseur (mm) :
Plan : ±0,508
Sphérique : ±0,25
Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE)
Miroirs Plans Ultraviolets Extrêmes (UVE)
Type Diamètre (mm) Épaisseur (mm) Substrat EFL (mm) Refl ectivité (%) AOI (°) N°stock Prix
Plan 25,4 6,35 Silicium monocristallin N/A 60 5 #38-759 €2.200,00
Plan 25,4 6,35 Silicium monocristallin N/A 65 45 #38-760 €2.200,00
Sphérique 25,4 6,35 Silice fondue 250 60 5 #11-730 €3.400,00
Substrat : Silice fondue
Surface arrière : Moulu fi n
Tolérance diamètre (mm) : +0,0/-0,2
Tolérance épaisseur (mm) : ±0,2
Qualité de surface : 20-10
Planéité de surface : λ/10
Parallélisme (arcmin) : 2
Traitement : Voir page 88 pour spécifi cations
TECHSPEC® Miroirs de Prélèvement Rasants
Diamètre (mm) Épaisseur (mm)
Aluminium amélioré Or protégé Argent protégé
N°stock Prix N°stock Prix N°stock Prix
25,4 6,35 #36-135 €70,00 #36-136 €90,00 #36-137 €80,00
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